真空炉石墨风管的典型应用案例

真空炉石墨风管的典型应用案例
案例：某半导体真空炉用石墨风管丈量
      要求：直径Φ100±0.003mm，圆度差错≤0.002mm，外表粗糙度Ra≤0.2μm。
丈量计划：
      运用三坐标丈量机丈量直径和圆度，采样点数≥1000。
      用触针式粗糙度仪丈量外表质量，取样长度0.25mm。
      在真空环境中进行激光扫描，验证形状精度。
      成果：所有丈量项目均满足要求，风管在真空炉中运行稳定，无泄漏或变形问题。